சிவராத்திரி அன்று சிவன் கோயிலுக்கு சென்று முறைப்படி தரிசனம் முடித்து வீட்டுக்கு வந்தவுடன், சிவராத்திரி பூஜைக்கு உரிய இடத்தைச் சுத்தம் செய்து, மாலை, தோரணங்கள் ஆகியவற்றால் அலங்காரம் செய்ய வேண்டும். அதன் பின் நடுப்பகலில் நீராடி, உச்சி கால அனுஷ்டானங்களை முடித்துவிட்டு சிவபூஜைக்கு உரிய பொருட்களைச் சேகரித்து, சூரியன் மறையும் வேளையில் சிவராத்திரி பூஜைக்கு ஏற்பாடு செய்ய வேண்டும்.
முதல் கால பூஜை – மாலை 6 முதல் 9 மணி வரை:
ஸ்வாமிக்குப் பஞ்ச கவ்யத்தால் அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும். பசும் பால், பசுந் தயிர், பசு நெய், பசுவின் சிறுநீர், பசுஞ்சாணம்- இந்த ஐந்தும் கலந்தது, பஞ்சகவ்யம் , அகில் குழம்பும், வில்வமும் சாற்ற வேண்டும். தாமரைப் பூக்களால் அர்ச்சனை செய்ய வேண்டும். பயத்தம் பருப்பு கலந்த பொங்கலை நைவேத்தியம் செய்து, ரிக் வேதம் சொல்ல வேண்டும்.
இரண்டாம் கால பூஜை – இரவு 9 முதல் 12 மணி வரை :
பஞ்சாமிர்த அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும். தேன், சர்க்கரை, தயிர், பால், நெய் ஆகிய ஐந்தும் கலந்தது பஞ்சாமிர்தம். இதில் தயிரை நீக்கி வாழைப்பழத்தைச் சேர்ப்பதும் உண்டு. சந்தனமும், தாமரைப் பூவும் சாற்ற வேண்டும். துளசியால் அர்ச்சனை செய்து பாயசம் நைவேத்தியம் செய்து, யஜுர் வேதம் சொல்ல வேண்டும்.
மூன்றாம் கால பூஜை – இரவு 12 முதல் அதிகாலை 3 மணி வரை:
தேன் அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும். அரைத்த பச்சைக் கற்பூரம், ஜாதி முல்லை மலர் சாற்ற வேண்டும். மூன்று இலைகள் கொண்ட வில்வத்தால் அர்ச்சனை செய்து, எள் சாதம் நைவேத்தியம் செய்து, சாம வேதம் சொல்ல வேண்டும்.
நான்காம் கால பூஜை – அதிகாலை 3 முதல் 6 மணி வரை:
கரும்புச் சாறினால் அபிஷேகம் செய்து, அரைத்த குங்குமப் பூவுடன் நந்தியாவட்டை மலர் சாற்ற வேண்டும். நீலோத்பல மலரால் அர்ச்சனை செய்து சுத்தமான அன்னத்தை நைவேத்தியம் செய்து, அதர்வண வேதம் சொல்ல வேண்டும்.